12寸晶圓分選機（Sorter/EFEM）—WST300
技術(shù)優(yōu)勢：
* 支持兼容符合SEMI標準的晶圓傳送盒；
* 高速度，高穩(wěn)定性；
* 超潔凈度；
* 支持多種通信協(xié)議SECS/Gem等；
全國服務(wù)熱線：0512-66023466 / 17315821135
設(shè)備規(guī)格/Equipment Specifications
主要特征/Main Features | 晶圓片的自動分選（可配定位與讀碼）/Wafer sorter (Aligner or ID Reader) |
適合晶圓尺寸/Wafer Size | 300mm |
機器人/Robot | 雙臂/Double |
工位/Station | 2~8 （Options） |
晶圓盒類型/Cassette Type | 開放式晶圓盒或FOUP/ FOUP or Open Cassette |
產(chǎn)量/Throughput | >300 WPH |
校準功能(Aligner） | 選配項/Options |
讀碼功能(OCR) | 選配項/Options |
翻轉(zhuǎn)功能/Flip | 選配項/Options |
潔凈單元/Clean Unit | <Class1（Options） |
電力需求/POWER | AC 220 V, 50/60 Hz, 20A，Single Phase （φ8mm air tube） |
壓空/Dry air | 0.4~0.6Mpa; 90L/min （φ8mm air tube） |
真空/Vacuum | -80~-70kPa; 25L/min （φ6mm air tube） |
重量/Weight | ~500-900kg |
