8寸導片機—WT200B
技術優(yōu)勢：
* 25片同時轉換；
* 支持兼容符合SEMI標準的晶圓傳送盒；
* 高速度，高穩(wěn)定性；
全國服務熱線：0512-66023466 / 17315821135
設備規(guī)格/Equipment Specifications
主要應用/Main Applications | 一盒25片晶圓同時從一個cassette轉移到另一個Cassette |
適合晶圓尺寸/Wafer Size | 150/200mm（Options） |
工位/Station | 2 |
晶圓盒類型/Cassette Type | 開放式晶圓盒/Open Cassette |
潔凈度/Cleanliness | <Class10 |
電力需求/POWER | AC 220 V, 50/60 Hz, 10A，Single Phase （￠8mm air tube） |
壓空/Dry air | 0.4~0.6Mpa; 90L/min（￠8mm air tube） |
設備尺寸/Equipment Size | 550*430*1050mm(L*W*H) |
重量/Weight | ~65kg |
