6&8寸多晶清潔機—WPC200
技術(shù)優(yōu)勢：
* 高精度平臺設計；
* 同時具備清除和分選功能；
* 高速度/高穩(wěn)定性；
全國服務熱線：0512-66023466 / 17315821135
設備規(guī)格/Equipment Specifications
主要特征/Main Features | 通過高精度平臺，用裝置清除晶圓表面毛刺顆粒（多晶） |
適合晶圓尺寸/Wafer Size | 150/200mm（Options） |
機器人/Robot | 單/雙臂/Single/Double |
工位/Station | 2~8 （Options） |
晶圓盒類型/Cassette Type | 開放式晶圓盒或FOUP/ FOUP or Open Cassette |
產(chǎn)量/Throughput | >300 WPH |
校準功能(Aligner） | 選配項/Options |
潔凈單元/Clean Unit | <Class10（Options） |
電力需求/POWER | AC 220 V, 50/60 Hz, 20A，Single Phase （φ8mm air tube） |
壓空/Dry air | 0.4~0.6Mpa; 90L/min （φ8mm air tube） |
真空/Vacuum | -80~-70kPa; 25L/min （φ6mm air tube） |
重量/Weight | ~450kg |
