技術(shù)優(yōu)勢：
* 核心的圓度算法，超強(qiáng)的檢出率；
* 同時具備檢測和分選功能；
* 可處方設(shè)定分選多種不良種類，
* 支持多種通信協(xié)議SECS/Gem等；
全國服務(wù)熱線：0512-66023466 / 17315821135
設(shè)備規(guī)格/Equipment Specifications
主要應(yīng)用/Main Applications | 晶圓內(nèi)部孔洞檢測/Wafer Pin-hole Inspection |
適合晶圓尺寸/Wafer Size | 300mm |
機(jī)器人/Robot | 雙臂/Dual,Gripper |
工位/Station | Load Port *2；Mapping；可對接OHT |
晶圓盒類型/Cassette Type | FOUP/FOSB |
校準(zhǔn)功能(Aligner） | 有 |
晶圓讀碼（OCR） | 選配項(xiàng)/Options |
XY-Talbe | 有 |
工業(yè)相機(jī)/CCD | 客制化/Customization |
光源/Lighting | 客制化/Customization |
缺陷檢測精度/Accuracy of defects detection | 10um |
產(chǎn)量/Throughput | ~150 Pcs/H （具體視Pin-Hole數(shù)量） |
軟件/Soft ware | 1. 自主研發(fā)軟件，可視化管理，操作簡單，安全可靠。 2. 自動傳輸或手動輸入指令對Wafer進(jìn)行傳送和定位;追蹤并保存記錄; 3. 多種菜單模式及防呆報警配置； 4. 兼容多種通訊協(xié)議，與客戶MES系統(tǒng)做無縫對接。 |
潔凈單元/Clean Unit | <Class1（Options） |
電力需求/POWER | AC 220 V, 50/60 Hz, 25A，Single Phase |
壓空/Dry air | 0.6~0.8Mpa; 90L/min （￠8mm air tube） |
真空/Vacuum | -80~-70kPa; 25L/min （￠6mm air tube） |
重量/Weight | ~1000kg |
